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2008/10/24 (金) 真空ポンプ
1cm3 の空気中にはおよそ1019 個もの分子があるので、化学や物理では真空にする技術が欠かせません。で、透過電顕のグリッドをつくるためにカーボンを蒸着する必要があって、研究室にある油拡散ポンプ付きの蒸着装置を改造し、その試運転をやったわけですが。 なかなか真空度が上がりません。10-4 Pa(およそ10億分の1気圧)という高真空を作り出すためには、油拡散ポンプやターボ分子ポンプという特殊な真空ポンプを使います。ジェット機のエンジンみたいな羽根車が高速で回転して、分子を弾き飛ばして真空にする分子ポンプと違い、高速で飛ぶ油蒸気に分子を捕捉することで動作する油拡散ポンプは、駆動部がないのでメンテしやすいのですが、ちょっとでも操作を間違えるとすぐにダメになります。4時間ほど粘って、液チを入れてみたりして、やっと10-4 Pa台に入ったのはもう日も暮れたころ。これでもかというくらい手製のカーボンロッドを加熱して、蒸着は何とかできましたが、真空度が不十分。これは先が思いやられるぞ。。。
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